Метод ионного рассеяния

Определяя профиль имплантации методом ионного рассеяния, удается измерить растворимость имплантируемого вещества при относительно низкой температуре. Такая информация исключительно ценна для разработки новых сплавов, так как примесные элементы оказывают совершенно различное действие в зависимости от характера их расположения в кристаллической решетке матрицы.

Новые виды технологии требуют новых материалов и предъявляют новые требования к старым. Благодаря этому рождаются новые применения для ионной имплантации. Проведенные работы показали, что с помощью этого метода можно создавать поверхности с новыми свойствами у таких диэлектриков, как стекло, керамика и полимеры. В перспективе ионная имплантация найдет широкое применение в таких специфических областях, как производство световодов, запоминающих устройств на цилиндрических магнитных доменах, ферроэлектриков, термостойкой керамики для двигателей и полимеров с проводящими поверхностями.

Например, имплантация ионов азота в стенки световодов, изготовленных из кремниевого стекла, вызывает радиационные дефекты и ведет к образованию дисперсных частиц нитрида кремния, за счет чего изменяется показатель преломления поверхностных слоев стекла и тем самым создаются условия для удержания луча света в световоде. Имплантация ионов водорода в гранат, применяемый для изготовления запоминающих устройств на цилиндрических магнитных доменах, приводит к образованию дефектов смещения, которые изменяют магнитные свойства граната. Имплантированные области создают границы, вдоль которых движутся магнитные домены; такой метод используется для создания запоминающих устройств с высокой плотностью хранения цифровой информации.

Ионная имплантация улучшает свойства ферроэлектрической керамики — фоточувствительного вещества, которое может регистрировать изображение, если этот материал подвергнуть одновременному действию ближнего ультрафиолета и электрического поля. Радиационные повреждения и химические изменения, возникающие в результате бомбардировки ионами алюминия и аргона, настолько изменяют электрические свойства керамики, что ее фоточувствительность возрастает более чем в 10 ООО раз.

 

0 Коментариев

Вы можете быть первым =)

Оставить коментарий